한국DNS, 300mm 웨트스테이션 양산 1호기 생산

　한국디엔에스(대표 박창현 http://www.kdns.co.kr)는 차세대 300㎜ 웨이퍼용 전공정 핵심설비인 웨트스테이션(모델명 K-WET300)의 1호기를 생산, 삼성전자에 공급한다고 19일 밝혔다.

　총개발비 30억원을 투입해 국내 최초로 개발한 ‘K-WET300’은 반도체 제조과정에서 발생하는 미립자와 웨이퍼 표면의 불순물 제거 및 감광액 등의 식각(에칭)에 사용되는 세정·건조설비로 최근 3년 동안 양산에 필요한 기술시험을 마친 제품이다.

　‘K-WET300’은 단일 세척조에서 세척·헹굼·건조작업을 연속해서 처리하는 원배스(one bath) 방식을 채택, 기존 200㎜ 장비에 비해 세정력을 높였다. 또 웨이퍼가 외부에 노출되지 않아 오염지수가 낮고 산화막 방지효과가 크다.

　특히 기존장비에 비해 생산성이 뛰어나 단위면적당 웨이퍼 처리속도가 월등히 빠르다는 것이 회사측의 설명이다.

　이 회사의 박창현 사장은 “K-WET300의 양산으로 국내 200 및 300㎜ 웨트스테이션 시장에서 40% 이상의 점유율을 확보할 수 있을 것으로 예상된다”며 “국내외 소자업체들이 본격적인 300㎜ 설비투자에 나서는 내년부터 대당 25억원 수준인 이 장비를 연 30대 이상 생산, 세정설비부문에서만 700억원 이상의 매출증대 효과를 올릴 계획”이라고 말했다.

　< 최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>