칠러업계 300mm 대비 대용량 장비 잇따라 선보여

　온도조절장치(칠러) 제조업계가 300㎜ 웨이퍼 시장에 대비, 대용량 제품을 잇따라 선보인다.

　22일 업계에 따르면 화인반도체기술·다산씨앤드아이·유니셈·코삼·성원에드워드 등 칠러 제조업체들은 최근 300㎜ 웨이퍼 가공공정에 적합한 대용량 장비의 개발을 마치고 시장공략 채비에 나서고 있다.

　화인반도체기술(대표 장명식 http://www.fstc.co.kr)은 지난해 반도체 공정장비의 온도유지에 사용되는 칠러사업을 개시한 이후 지난 1·4분기 300㎜ 공정용 대용량 칠러를 개발하고 미국의 I사를 대상으로 칠러 공급협상을 진행중이다.

　다산씨앤드아이(대표 오희범 http://www.dasancni.com)는 이달 초 싱글 및 듀얼 타입 대용량 칠러 2종의 개발을 마치고 이달 말까지 시제품을 생산, 국내외 시장을 공략한다는 계획이다. 　

　이를 위해 다음달중으로 일본 히타치에 데모장비를 공급, 성능시험을 진행한 후 국내 소자업체로부터 이미 예약된 8대를 공급하는 등 시장공략에 나서기로 했다.

　유니셈(대표 김경균 http://www.uni-sem.com)은 300㎜ 장비와 관련해 국내보다는 해외쪽 수요가 많을 것으로 보고 전기 및 냉매방식의 대용량 칠러 2종을 앞세워 대만·중국·싱가포르 등의 국가를 대상으로 수출을 추진하고 있다. 　 　

　코삼(대표 김범용 http://www.cosam.co.kr)은 대용량 칠러의 양산에 들어가기로 하고 수주부터 부품확보, 장비생산, 출고 등에 이르는 칠러생산 소요기간을 기존 2.5∼3개월에서 1.5개월 미만으로 단축할 예정이다.

　대용량 칠러를 생산해왔던 성원에드워드(대표 김중조 http://www.bocedwards.com)는 최근 국내 소자업체와 진행중인 300㎜ 관련 성능시험에서 만족할 만할 결과가 나온 데 따라 시장개척에 본격적으로 나선다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>