유기EL 제조장비 개발 활기

차세대 디스플레이인 유기EL의 핵심 제조장비인 증착공정장비 개발이 활기를 띠고 있다.

　6일 업계에 따르면 신한광진공·에이앤에스·디알진공 등의 업체들은 이미 연구개발 및 준양산용으로 유기EL 제조장비를 개발, 공급한 데 이어 현재 대면적의 글라스 처리와 섀도마스크의 자동 얼라인 기능을 추가하는 양산용 장비 개발에 박차를 가하고 있다.

　지난 93년 옵티컬코팅장치 전문회사로 출발한 신한광진공(대표 윤근천)은 관련기술을 응용, 유기EL 제조장비 개발에 적극 나서 현재 200×200㎜의 유리기판을 처리할 수 있는 능동형(AM) 풀컬러 유기EL 장비를 개발해 국내업체에 연구개발용으로 공급했다. 이 회사는 300×240 크기의 준양산용 장비도 개발, 국내 유기EL업체에 공급하고 있다.

　유기EL 장비 전문업체인 에이앤에스(대표 배경빈 http://www.ansinc.co.kr)는 반도체장비 제조회사에서 증착장비와 진공장비를 제작한 경험을 바탕으로 200×200㎜의 클러스터 형태의 AM 풀컬러 유기EL 장비를 개발, 국내 유기E 업체에 공급해 시험가동중이다. 이 회사는 지난달 일본에서 열린 SEMI FPD 엑스포에 장비를 출품하는 등 해외시장개척에도 나서 현재 대만업체들과도 장비공급을 위해 협의중이다. 이 회사는 올해 말까지 400×400㎜의 양산용 장비를 개발할 계획이다.

　디알진공(대표 김영성 http://drvacuum.co.kr)도 현재 150×150㎜ 수동형(PM) 멀티컬러용 장비를 개발해 연구개발용으로 국내업체에 공급한 데 이어 대만업체와도 공급계약을 체결하고 장비를 수출할 예정이다.

　이 회사는 하반기중으로 400×400㎜의 멀티컬러용 양산장비와 200×200㎜의 풀컬러 준양산장비를 내놓을 방침이다.

　반도체 및 액정표시장치(LCD) 검사장비 전문업체인 메카텍스(대표 안동훈 http://www.yeonwoo.co.kr)는 유기EL용 검사장비의 개발을 거의 완료하고 국내업체에 납품을 추진중이며 기존 검사장비업체들도 유기EL 검사장비 시장진입을 준비하는 것으로 알려졌다.

　업계 관계자는 “아시아 지역에서만 EL 패널을 생산하겠다는 업체가 60개에 달하지만, 현재 유기EL 양산용 제조장비는 일본의 토키·울박 정도만이 한발 앞서 공급하고 있을 뿐이어서 패널업체와의 공동개발이 이뤄진다면 국내 장비업체들도 충분히 겨뤄볼 만하다”고 말했다.

　<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>