후공정 반도체장비업체들 전공정 장비 개발 박차

　반도체 후공정 장비업체들이 부가가치 증대를 위해 전공정 장비사업을 강화하고 있다.

　3일 업계에 따르면 아토·실리콘테크·쎄미콘테크 등 장비업체들은 전공정 장비사업에 신규진출하면서 연구개발에 적극 나서고 있다.

　그동안 국내 반도체 장비시장에서 전공정 장비가 차지하는 비중은 70% 가량에 달하지만 전공정 장비의 국산화율은 지난해 6.4% 수준으로 극히 저조한 실정이다.

　반도체 제조공정용 가스공급장비 전문업체인 아토(대표 문상영 http://www.atto.co.kr)는 사업부문을 전공정 장비 분야로 확대하기로 하고 호서대학교 연구소와 공동으로 가스분사장치 연구에 나서 올 하반기중 300㎜ 플라즈마화학증착(PECVD) 장비의 시제품을 선보일 예정이다. 이밖에도 지난 2월 플라즈마 관련 전문업체인 뉴파워플라즈마에 7억원을 출자한 것을 시작으로 전공정 장비업체와 추가제휴를 맺어 사업기반을 다진다는 계획이다.

　 실리콘테크(대표 우상엽 http://www.stl.co.kr)는 케미컬 자동공급시스템에 이어 포토레지스터 프로세싱 시스템 ‘스페로1’을 추가로 개발했다.

　이 회사는 소자업체와 진행중인 성능 안정성 테스트가 마무리되는 대로 수요처 발굴에 나설 예정이며 하반기중 포토리소그래피 공정 중 웨이퍼의 주변부를 자동노광하는 300㎜ OEBR(Optical Edge Bead Removal) 시스템을 개발하는 등 제품을 다양화한다는 전략이다.

　쎄미콘테크(대표 최승철 http://www.semicontech.co.kr)도 전공정 장비시장에 진출하기 위해 반도체 제조 전공정용 화학기계적연마(CMP) 장비 개발에 들어가 최근 200㎜ 장비를 개발완료했다.

　이 회사는 현재 삼성전자와 공동으로 200㎜ 장비시험을 마친 단계이며 내부 신뢰성 시험이 마무리되는 대로 국내외 업체에 공급할 예정이다. 또 이 회사는 300㎜ CMP 장비도 오는 10월까지 제품개발을 완료해 제품다양화와 함께 전공정 장비시장에 진출한다는 계획이다.

　이밖에도 한국도와(대표 최신용 http://www.towak.co.kr) 역시 전공정 관련 장비시장에 진출하기로 하고 이 분야의 연구개발을 강화하고 있다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>