한국디엔에스, 300mm웨이퍼용 세정장비 개발

한국디엔에스(대표 박창현 http://www.kdns.co.kr)는 차세대 300㎜ 웨이퍼용 세정설비인 스핀스크러버(모델명 KS-W12A-AV) 개발에 성공, 오는 30일 삼성전자에 이 장비를 공급하기로 했다고 23일 밝혔다.

　스핀스크러버는 반도체 제조과정에서 웨이퍼 표면에서 발생하는 0.1㎛(1㎛은 100만분의 1m)급 초미세 먼지(particle)를 브러시 초음파 고압세정 등의 방식으로 세정·건조하는 장비다.

　이 제품은 1G D램급 차세대 공정에서 요구되는 케미컬 세정기능을 채택, 기존 순수액(DI water)을 이용한 무기세정뿐만 아니라 미세 유기물 세정도 가능하게 했다. 또한 브러시 노즐 자동제어시스템을 내장해 웨이퍼 표면의 세정능력을 향상시키는 한편 300㎜ 대구경 설비에서 필요한 공장·물류자동화 기능을 갖췄다고 회사측은 설명했다.

　박창현 사장은 “국내 반도체시장의 90% 이상을 점유하고 있는 8인치 스핀스크러버에 이어 300㎜시장도 선점하게 됐다”며 “소자업체들이 본격적인 설비투자에 들어가는 내년부터 연간 30대씩 생산, 총 360억원 이상의 매출증대 효과를 거둘 계획”이라고 말했다.

<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>