선재하이테크, 정밀제조공정용 광(光)조사식 제전기 상용화

의료용 장비·반도체·액정표시장치(LCD) 등 초정밀기기 제조공정에서 발생하는 정전기 피해를 완전히 없앨 수 있는 기기가 국내기술로 개발됐다.

대학창업 벤처인 선재하이테크(http://www.sunstat.com)는 소프트X선을 이용해 물체표면의 정전기를 완전히 제거할 수 있는 광조사식 제전기(모델명 포토이오나이저 SXI-10」)를 상품화, 본격 공급에 나섰다고 3일 발표했다.

이 회사가 개발한 장비는 지난 98년 한국디스플레이연구조합의 G7과제로 선정되어 약 2년동안 연구개발 끝에 올초 상품화했다.

이 기기는 자외선보다 더 짧은 파장의 소프트X선으로 공기를 이온화시키고, 이 공기를 정전기 발생 물체의 표면이나 정전기를 띤 먼지와 접촉시켜 중화하는 원리로 만들어졌다.

이번에 개발된 제품은 3만시간의 수명을 갖고 있으며 저발열성 제품으로 설계돼 금속침에 전압을 걸어 고열을 발생시키는 기존 코로나 방전식 제품에 비해 4배의 수명을 갖도록 했다.

선재하이테크는 이 광조사식 제전기를 반도체·LCD·의료용 장비 공장은 물론 콘덴서 제조공정, 마그네틱 필름, 인화성물질을 취급하는 화학공장 등에도 공급해 나갈 계획이다. 특히 이 제품이 이동성이 약한 점을 고려해 휴대형 제품상용화를 진행하고 있다고 밝혔다.

이 회사는 이미 올 초 이 제전기를 상품화, 삼성SDI 부산공장에 납품했으며 삼성전자 기흥공장 및 현대전자 등과 공급을 협의중이다.

이동훈 사장은 “이번에 개발된 제품은 반사방식을 적용, 정전기를 각도 110도로 넓게 확대해 제거할 수 있으며 대당 가격도 일본 제품의 60%선인 400만원대로 낮추었다”고 설명했다.

선재하이테크는 미국·일본 및 신흥 반도체 제조국가인 말레이시아·대만·홍콩·중국 등에 대한 수출을 준비하고 있다. 문의 (051)611-7033

<이재구기자 jklee@etnews.co.kr>