ASML마스크툴, 리소그래피 프로세스 최적화용 시물레이션 툴 발표

최근 ASML이 자회사인 ASML마스크툴(Masktool)을 통해 노광(리소그래피) 공정 최적화용 초고속 시뮬레이터인 「리소크루저(LithoCruiser)」를 개발, 2·4분기에 상용화할 예정이라고 ASML코리아측이 4일 밝혔다.

이 제품은 광 리소그래피 기술자와 반도체 설계사들이 대량생산 이전에 제품의 생산성을 예측하기 위해 사용하는 시뮬레이터로 실제 회로 디자인 데이터를 시각화해 다양한 광학근접교정(OPC : Optical Proximity Correction)을 수행하고 웨이퍼상에 나타난 이미지에 대한 인쇄출력 성능을 평가하는 장비다.

ASML코리아측은 『「리소크루저」는 기존 툴보다 신속하게 디자인·마스크 및 프로세스에 대한 문제를 발견, 해결할 수 있어 새로운 반도체 기술의 개발 및 제품화에 걸리는 시간을 단축하게 될 것』이라고 말했다.

<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>