한국베리안(대표 김용길)은 세계 반도체 제조공정용 이온주입장치 시장에서 1위를 차지하고 있는 베리안(Varain Semiconductor Equipment)의 한국법인이다.
지난 1950년대 미국 캘리포니아주 실리콘밸리에서 국방 관련 하이테크산업을 기반으로 첫발을 내딛은 베리안은 세계 반도체 제조공정용 이온주입장치(ion implanter) 시장의 40% 이상을 점유하고 있다.
베리안의 주력제품인 이온주입장치는 반도체 웨이퍼 공정 가운데 트랜지스터 회로 제조과정 중 이온주입 공정에 사용되는 핵심장비. 국내에는 하이커런트 장비인 「ⅦSta80·ⅦSion」 시리즈, 미디엄 커런트 장비인 「ⅦSta810·EHPi」 시리즈, 고에너지 장비인 「ⅦSta3000·Kestrel-2」, 플라즈마 도핑(doping) 장비 PLAD 등이 출시돼 있다.
한국베리안은 특히 0.13∼0.18㎛ 설계기술의 차세대 300㎜ 웨이퍼 시장을 겨냥해 개발한 정교한 싱글 웨이퍼 주입기술을 갖춘 「ⅦSta」 시리즈 장비를 앞세워 시장점유율과 기술, 고객만족 부문에서 선두를 유지한다는 전략으로 국내시장을 공략하고 있다.
실제 베리안은 「고객 제일주의, 세계화」를 모토로 다른 외국 반도체 장비업체들보다 한발 앞서 한국의 반도체산업이 태동하던 초창기부터 한국시장에 진출해 기반을 다져왔다.
지난 1985년 한국에 법인을 설립, 지금까지 국내 반도체업체에 300여대의 이온주입장치를 공급해 국내 이온주입장치 시장에서 수위를 차지하고 있다.
김용길 사장은 『베리안은 지너스의 이온주입기사업부문을 인수, 그동안 상대적으로 취약했던 고에너지 이온주입기 분야 기술 노하우와 제품도 확보함으로써 이온주입기에 대한 종합적인 기술솔루션을 제공할 수 있게 됐다』면서 『국내 고객들의 신뢰가 더욱 확고해질 수 있도록 지속적인 기술개발과 서비스 강화에 주력하는 한편, 반도체장비부문과 관련한 더욱 적극적인 제품개발과 신규시장 개척에 주력하고 있으며 각종 신규사업 방안을 검토중』이라고 밝혔다.
특히 미국공장을 제외한 해외에서는 처음으로 한국에서 내년부터 이온주입장치를 조립, 생산하기로 결정하고 경기도 송탄공단에 생산설비 구축을 완료한 바 있다.
<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>
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