비아이이엠티, 미 반도체 장비업체인 ICD와 기술제휴

반도체장비 전문업체인 비아이이엠티(대표 이강열 http://www.e-biemt.com)는 세정장비 분야 세계 특허를 보유한 미국 ICD와 핫 디아이(DI) 웨이퍼 공급시스템에 관한 기술협약을 체결했다고 18일 밝혔다.

이번 기술제휴로 비아이이엠티는 반도체 세정장비내 온도조절에 사용되는 핫 디아이 웨이퍼 시스템을 국산화하고 ICD는 국내 시장을 통한 아시아 진출이 가능하게 됐다.

ICD는 핫 디아이 웨이퍼 공급시스템, 가스 히팅 시스템 및 정밀제어 컨트롤러 분야에서 세계 특허를 보유한 회사로 98년 미국내 가장 성공적인 중소기업으로 선정되기도 했다.

또 비아이이엠티는 충남 아산에 위치한 벤처기업으로 지난해 135억원의 매출을 올렸다.

<김인구기자 clark＠etnews.co.kr>