세주실업, MEMS 가스센서 양산

대덕밸리 벤처기업이 초미세기계가공기술(MEMS:Micro Electro-Mechanical System)을 기반으로 알코올 가스센서를 개발, 양산에 들어갔다.

세주실업(대표 이원배 http://www.safe-drive.com)은 한국과학기술원(KAIST)의 기술지원과 중소기업청의 자금을 지원받아 1년여의 연구 끝에 실리콘 웨이퍼에 가공할 수 있는 MEMS 알코올 가스센서를 개발, 연간 100만개의 양산 시스템을 구축했다고 28일 밝혔다.

국내에서 MEMS 가스센서의 양산체제가 구축된 것은 세주실업이 처음이며 세주실업은 국내외에 3건의 관련 기술특허를 출원해 놓고 있다.

세주실업이 이번에 개발한 MEMS 가스센서는 크기가 2×2㎜에 불과한 초소형으로 4인치 실리콘 웨이퍼 1장당 1500개의 센서를 생산할 수 있으며 2장의 마스크 공정만 소요되기 때문에 기존 제품에 비해 생산단가를 10분의 1 수준으로 줄일 수 있다. 특히 이 가스센서는 기존 후막형 및 감지체 센서에 비해 크기가 작고 공정이 단순하기 때문에 소비전력과 안정성·균일성·성능면에서 월등한 경쟁력을 갖추고 있다고 세주실업은 강조했다.

이 회사는 MEMS 가스센서가 최근 미국 교통부의 시험규격을 통과함에 따라 월마트·K마트 등 미국 대형할인점과 총 1000만달러의 장기수출계약을 체결하고 유럽과는 1000만달러 상당의 수출상담을 진행하는 한편 그동안 자체 생산해온 음주측정기에 이 센서를 부착한 신제품(모델명 Safe-Slim)을 출시했다고 덧붙였다.

음주측정기와 가스레인지·가스보일러·에어컨 등에 들어가는 가스센서는 센서 가운데 가장 널리 쓰이는 것으로 그동안에는 제조공정의 어려움과 성능의 불안정성 때문에 일본 업체가 연간 500억원에 이르는 국내시장을 독차지해왔다.

이에 따라 이 회사는 일본 제품의 전량 수입대체는 물론 연간 수천억원대의 수출이 가능할 것으로 내다봤다.

이호준 박사는 『MEMS제품은 부가가치가 높아 선진국에서는 21세기 10대 유망기술로 선정해 큰 수익을 얻고 있다』며 『MEMS산업의 부재로 매년 전문인력의 낭비가 발생하고 있는 국내 상황에서 중소 벤처기업이 이같은 가스센서 양산 시스템을 구축한 것은 큰 의의가 있다』고 밝혔다.

MEMS란 반도체 가공방법을 응용해 미세기계구조를 가공하는 기술 또는 가동된 제품으로 크기가 수㎛ 이하의 초미세구조 형성이 가능하고 균일한 가공성과 엄청난 양산성을 갖고 있는 것이 특징이다. 특히 MEMS를 반도체 기판상에서 구현할 경우 회로 등의 전기적 장치와 기계적 장치가 동일한 가공방법에 의해 함께 집적돼 품질 및 비용면에서 월등한 경쟁력을 갖게 되며 미국·일본 등에서는 21세기 10대 유망기술로 선정해 에어백의 가속도 센서나 잉크젯프린터 헤드 생산 등에 이용되고 있는 기술이다.

<대전 =박희범기자 hbpark@etnews.co.kr>