메디오피아, 반도체 가스 정제장치 개발

반도체 제조공정용 장비업체인 메디오피아인터내셔날(대표 장일홍 http://www.mediopia.co.kr)은 고온 플라즈마(plasma) 기술을 이용, 반도체 제조과정에서 발생하는 과불화탄소(PFC) 계열 가스와 유해가스를 분해하는 정제장치(스크러버)를 개발하는 데 성공, 국내 반도체 소자업체에서 성능평가를 진행중이라고 19일 밝혔다.

이 회사가 지난 2년동안 10억원을 투입해 개발을 완료한 PFC가스 스크러버(모델명 MP 150WS)는 섭씨 5000도 이상의 고온 플라즈마를 이용, 반도체 식각(에칭) 및 화학증착 공정중 발생하는 CF₄·SF●·NF₃·C₂F₂ 등 지구온난화에 영향을 끼치는 PFC계열 가스를 분해해 대기배출허용치 이하로 처리하는 장치이다.

이 회사는 스크러버 개발과정에서 핵식모듈인 플라즈마 건(gun)을 자체 개발하는 등 플라즈마 발생장치와 고압 전원공급장치에 대한 특허를 출원했다.

장일홍 사장은 『이번 제품은 고온 플라즈마 처리기술을 이용하기 때문에 PFC가스에 대한 처리효율이 최고 99%에 달하고 장비 가동(스탠바이)시간도 1초로 매우 짧은 것이 장점』이라며 『이 기술을 바탕으로 내년 상반기중 고온 플라즈마 방식의 일반 공정가스 스크러버도 출시하겠다』고 말했다.

이 회사는 최근 경기도 안성 공도 공단내 공장(150평 규모)에서 PFC가스 스크러버의 생산에 들어가 내년중 국내외 반도체업체에 70여대를 공급, 이 부문에서만 40억원의 매출을 올릴 계획이다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>