[SEDEX KOREA 2000]출품업체(앞공정 부문)-맷사이언스텍

지난해 7월에 설립된 신소재·부품 및 반도체 제조용 장비업체인 맷사이언스텍(대표 이원배 http://www.matst.com)은 자체개발에 성공한 금속산화막(ITO: Indium Tin Oxide) 증착장비 및 탄소나노튜브 성장장치(carbon nanotube growth equipment)를 선보인다.

기존 ITO 증착장비의 경우 고온(200℃ 이상)에서 ITO를 증착시키기 때문에 사용이 유리기판으로 제한됐으나 이 회사가 개발한 장비는 100℃ 미만의 저온에서도 금속산화막 증착이 가능해 유리기판 이외에도 플라스틱이나 아크릴 등의 기판에 ITO를 증착시킬 수 있다. 따라서 박막 경량화된 차세대 디스플레이 기판을 제조하는 데 적합하며 전기적 저항이 낮고 투과율이 높은 게 장점이다.

또한 이 회사가 개발한 탄소나노튜브 성장장치는 차세대 신기능 소재인 탄소나노튜브를 저온(550℃ 이하)에서 수직성장시킬 수 있어 보통유리를 대면적 기판으

로 사용할 수 있는 게 특징이다.

탄소나노튜브는 저전압·대면적 평판표시소자(FED)를 비롯해 RF출력소자, 초경량·대용량 2차전지의 전극재료 테라비트급 이상의 메모리 소자 등 다양한 분야에 응용되는 소재며 탄소나노튜브의 FED응용 등을 위해서는 저온 수직성장, 대면적 성장기술이 핵심이다.

이 회사는 이번 장비들을 최근 성균관대에 연구용으로 공급한 데 이어 대만 등 해외수출도 추진중이다.