『일본 외에 해외에서 반도체·액정표시장치(LCD) 제조용 핵심장비를 조립, 생산하는 것은 한국이 처음입니다. 이를 계기로 메모리반도체와 LCD 분야에서 선두를 달리는 한국의 반도체·LCD 제조업체들 옆에서 더욱 신속한 납품 및 검사, 서비스를 제공하겠습니다.』
경기도 평택 공장 준공식을 맞아 방한한 큐조 나카무라 일본 알박(ULVAC) 사장은 『한국알박 평택 공장을 알박그룹의 주요 해외 생산거점의 하나로 키울 계획』이라며 『이번 한국 공장은 생산효율과 생산기술이 가장 높고 가격·납기·품질면에서 최고 경쟁력을 갖춰 알박그룹의 모델이 될 것』이라고 강조했다.
한국알박은 평택 1공장 준공을 계기로 내년 3월까지 반도체용 스퍼터(sputter)장비 조립생산공장을, 2003년까지 장비 연구개발과 공정 검증 시설을 갖춘 3공장을 세울 예정이다.
큐조 사장은 『장비를 조립생산(knock down)하지만 3년 후에는 50∼70%의 장비 국산화율을 이룰 계획』이라면서 『이를 위해 이미 한국알박과 일본 본사간에 도면·기술정보를 공유할 수 있는 시스템도 구축했다』고 밝혔다.
연구소장 출신인 큐조 사장은 『지난해 주성엔지니어링과 공동 착수한 화학증착(CVD)·물리증착(PVD) 장비 개발이 순조롭게 진행되고 있다』며 『한국알박에 장비 핵심제조기술을 이전할 방침』이라고 덧붙였다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>
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