쎄미콘테크, 반도체 장비사업 본격화

두산의 계열사인 쎄미콘테크(대표 최승철)가 반도체 제조 전공정 핵심장비인 화학·기계적연마(CMP)공정 장비사업에 본격 나선다.




지난 7월 두산의 CMP장비사업을 이관받아 CMP장비시장에 뛰어든 쎄미콘테크는 이달중으로 경기 화성군 동탄면 중리에 건평 500여평 규모의 공장을 완공할 예정이라고 17일 밝혔다.




특히 이 회사는 200㎜ 웨이퍼용 CMP장비 개발에 나선 가운데 내년 상반기중 시제품을 내놓는 한편, 싱글 및 멀티 모듈 타입의 300㎜ 웨이퍼용 CMP장비 시제품 개발에도 착수했다.




이 회사는 두산 기계사업부문의 CMP장비개발팀 15명 전원을 흡수함으로써 두산에서 진행해온 CMP공정장비 개발 및 출시계획에 차질이 없도록 할 방침이다.




한편 두산은 쎄미콘테크를 계열사로 추가하고 두산 기계사업부문의 최승철 대표를 쎄미콘테크의 대표로 선임했다.




<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>


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