반도체 칩의 최종 검사공정 가운데 일반PC와 동일한 환경에서 칩을 검사하는 공정 자동화장비 개발이 활기를 띠고 있다.
15일 관련업계에 따르면 삼성전자 등 국내외 반도체 생산업체들이 PC환경의 검사 공정과 관련 자동화 장비를 추가 도입하고 있는 데 따라 미래산업·유일반도체 등 업체들도 관련장비 개발에 박차를 가하고 있다.
미래산업(대표 정문술 http://www.mirae.co.kr)은 반도체 칩 검사공정에서 PC와 동일한 환경에서 메모리모듈을 검사하는 「PC실장 모듈 핸들러·모델명 MR 7600」를 개발, 국내 반도체 생산업체에서 성능평가를 마쳤다.
이번 「MR 7600」은 24개의 실제 PC에 96개의 모듈을 장착해 동시에 성능을 검사할 수 있게 설계됐으며 기존에 작업자가 직접 모듈을 PC에 꽂아 검사하던 것을 자동화함으로써 생산효율을 크게 향상시켰다.
유일반도체(대표 장성환 http://www.yuilsemi.com)는 최근 칩의 최종 검사공정 가운데 실제 PC환경에서 모듈 성능을 검사하는 「PC실장 모듈 테스트 핸들러·모델명 YIT-6200」를 개발하고 국내 반도체 생산업체 양산라인 적용을 위한 평가를 진행중이다.
이 회사의 「YIT-6200」은 PC 주기판을 한번에 28개까지 탑재해 모듈을 자동 검사함으로써 검사비용을 절약함은 물론 검사시간 단축과 함께 모듈의 불량률을 최소화할 수 있게 했다.
실리콘테크(대표 우상엽 http://www.stl.co.kr)는 삼성전자와 공동으로 메모리 소자를 실제 사용되는 PC환경에서 검사함으로써 불량여부와 성능을 파악할 수 있는 「메모리 컴포넌트 테스터」를 개발, 양산 적합성 평가를 마쳤다.
이번 테스터는 메모리 소자를 실제 사용되는 PC에 장착해 검사함으로써 모듈 조립 전단계인 칩 상태에서도 불량 여부를 판단할 수 있게 했다.
메모리앤테스팅(대표 강경석 http://www.koreamemory.com)도 기존 검사 시스템에서 파악하기 힘든 메모리의 성능·불량을 실장 환경에서 쉽게 스크린할 수 있는 「병렬 소자 테스터·모델명 PCT-256」를 자체 개발, 내년초부터 양산에 착수할 계획이다.
이 회사의 「PTC-256」는 테스터(ATE)와 핸들러를 일체화해 장비 투자효율을 향상시켰으며 256para(병렬) 검사도 가능하다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>
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