한국알박, FED용 성막장치 공급 개시

반도체·액정표시장치(LCD) 관련 장비업체인 한국알박(대표 쯔나시마 가쯔오)은 전계발광소자(FED) 제조공정용 냉음극원 성막장치를 다음달부터 국내 공급한다고 22일 밝혔다.

이 회사가 공급하는 장치는 유리 기판위에 「Graphite Nano Fiber(GNF)」라고 하는 탄소결정의 일종인 그래파이트 섬유를 평면으로 배열해 전극을 만드는 장비로 A4 크기까지 전극을 형성할 수 있다.

아울러 이 장치는 기존 제품에 비해 전극의 상부를 날카롭게 할 필요가 없으며 전극형성 속도가 5배나 빨라진 데다 기존 장치보다 50도 낮은 550도 반응온도에서 간단하게 전극을 만들 수 있는 게 특징이다. 따라서 전극형성의 공정을 기존에 비해 6분의 1로 줄일 수 있다고 이 회사는 설명했다.

이 회사 관계자는 『기존의 장치는 선단을 예리하게 세운 구조의 탄소 나노 튜브(Caron Nano Tube)를 수직방향으로 성장시켜 전극을 만들면서 최대 10㎝ 정도의 면적까지만 전극형성이 가능했다』면서 『이번에 선보이는 전극형성 기술을 통해 FED 대면적화가 가능해지고 양산화하는 전기가 될 것으로 기대한다』고 말했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>