기림세미텍, 식각공정용 정전척 사업 본격 나선다

기림세미텍(대표 이정기 http://kirim-s.com)은 반도체의 식각(에칭) 공정장치에 들어가는 필수 소모품인 정전척(ESC) 사업에 나선다.

이 회사는 이달 미국 TCB(대표 라이언 스카테나)사와 정전척 공동 개발·생산·판매에서 제휴, 각각 6 대 4로 자본을 투자해 생산·판매를 위한 합작법인을 설립하기로 했다고 4일 밝혔다.

합작법인은 경기 화성군 동탄면 신리 소재 공장에 생산설비를 갖추고 9월부터 생산에 착수, 내수판매와 수출에 나설 예정이다.

이 회사가 생산할 정전척은 반도체 제조과정중 식각공정에서 정전기를 이용해 웨이퍼를 고정하는 것은 물론, 하부전극의 역할도 수행하는 핵심 소모성 부품으로 지금까지 국내에서는 거의 전량 수입해 사용하고 있다. 정전척의 국내 연 시장규모는 500억원 정도다.

이정기 사장은 『식각공정용 실리콘 캐소드 등 핵심부품을 주력 생산하면서 축적한 기술과 TCB사의 전문기술을 합쳐 수입에 의존해온 정전척을 개발, 국산 대체에 나설 계획』이라고 말했다.

기림세미텍은 TCB사와 협력해 그래파이트와 평판 플레이트의 접합을 기존의 인듐 대신에 엘라스토머를 써서 접합한 캐소드 및 스퍼터링 타깃도 생산할 계획이다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>