아남반도체, 국내 첫 산화막 슬러리 국산화

아남반도체는 최근 반도체 제조과정 중 박막평탄화(CMP) 공정에 사용하는 산화막 연마제(슬러리)를 동진쎄미켐과 공동개발, 국산화했다고 13일 밝혔다.

반도체업체들은 고집적 반도체 제조에 다층배선과 같은 첨단 배선기술이 적용되면서 절연막·금속막 등을 고르게 하는 CMP 공정을 거치지 않고서는 차세대 반도체 제조가 불가능하자 이 공정의 필수 제품인 슬러리 개발과 양산에 주력하고 있다.

아남은 이를 계기로 칩 제조 집적화에 맞춘 원자재의 국산화에 집중해 웨이퍼 수탁생산(파운드리)뿐만 아니라 소재 분야의 선두업체로 도약할 방침이다.

동진쎄미켐은 아남으로부터 슬러리 제조기술을 이전받아 하반기 연간 3000톤 규모의 양산에 들어가 올해 100억원의 매출을 올릴 계획이다.

세계 슬러리 수요는 지난해 1억7000만달러에서 올해 2억1000만달러로 늘어날 전망이다.

<신화수기자 hsshin@etnews.co.kr>