<특집-세미콘웨스트 2000>세미콘 웨스트 2000 개막

「21세기 반도체 제조공정용 장비·재료 산업과 기술동향을 한눈에」.

첨단 반도체 장비 및 재료의 최신 기술동향을 한자리에서 들여다볼 수 있는 「세미콘 웨스트(SEMICON West) 2000」 전시회가 세계반도체장비·재료협회(SEMI) 주최로 10일(현지시각)부터 14일까지 미국 샌프란시스코 모스콘센터와 새너제이 컨벤션센터에서 성대한 막을 올린다.

올해로 30회째를 맞는 이번 「세미콘 웨스트 2000」 전시회에는 한국의 10개 업체를 비롯해 미국·일본·대만·독일·네덜란드·영국 등 전세계 10여개국 2000여업체가 참가, 각종 첨단 장비와 재료들을 선보여 치열한 기술·제품 홍보전을 펼친다.

21세기 들어 처음 맞는 이번 세미콘 웨스트 전시회는 전시규모 면에서도 4000개 부스로 지난해보다 20% 정도 늘었으며, 전세계에서 연인원 10만명 이상의 관람객이 다녀갈 것으로 전망된다.

이번 세미콘 웨스트 2000에 국내외 업체 및 전문가들의 참여와 관심도가 높은 데는 세계 반도체 장비·재료 시장이 불황의 터널을 뚫고 향후 몇년 동안은 호황을 예고하고 있기 때문이다.

미국 반도체산업협회(SIA)의 최근 조사에 따르면 올해 세계 반도체 시장규모가 전년 대비 31% 성장한 1950억달러에 이르고 2001년에는 올해 대비 25% 증가한 2440억달러 규모로 커지며 2002년에는 2001년에 비해 14% 늘어난 2790억달러, 2003년에는 이보다도 12% 증가한 3120억달러가 될 전망이다.

메모리를 근간으로 하는 우리나라의 반도체산업도 20% 이상의 성장이 기대돼 앞으로의 전망이 매우 밝다고 할 수 있다.

반도체 시장의 호황 전망은 인터넷, 데이터 교환 등 각종 커뮤니케이션 산업에서의 반도체 수요 급증이 예상되기 때문이다.

이같은 반도체 수요 급증과 반도체업체들의 신규투자 확대에 힘입어 지난 몇년간 고전을 면치 못했던 세계 반도체장비 시장도 크게 활성화할 전망이다. 올해 시장규모는 지난해(240억달러)에 비해 20.8% 신장한 290억달러로 확대되고 오는 2002년에는 그 규모가 430억달러에 달할 것으로 세계 시장조사기관들은 내다본다.

이에 따라 10일부터 12일까지 샌프란시스코 모스콘센터에서 열리는 반도체 제조 앞공정(Wafer Processing) 전시회에는 리소그래피(lithography)공정 장비를 포함해 식각(ethcing)·화학기상증착(CVD)·화학기계적연마(CMP)·측정분석공정용 장비·재료들이 대거 선보이며 전세계 관람객들의 이목을 집중시킬 것으로 보인다.

이어 12일 새너제이 컨벤션센터로 자리를 옮겨 열리는 반도체 제조 후공정 전시회에서는 첨단 테스트·조립·패키징 장비·재료들이 출품될 예정이다.

특히 이번 전시회에서는 반도체의 고집적화와 웨이퍼 대구경화 추세에 발맞춰 차세대 300㎜ 웨이퍼 제조공정용 장비·재료를 비롯해 0.15㎛·0.13㎛의 초미세공정, 구리칩 제조용 장비·재료들이 최대 관심사로 떠오를 전망이다. 이와 관련해 국내외 업체들은 차세대 양산용 장비·재료들을 중점 홍보하며 시장선점 효과를 노린다는 전략이다.

반도체 제조 앞공정 분야에서는 세계 최대 반도체장비업체인 어플라이드머티리얼스 및 노벨러스·세미툴·램리서치·도쿄일렉트론·KLA-덴코 등이 0.18㎛ 이하 공정 및 300㎜ 웨이퍼, 구리칩 공정장비들을 대거 전시해 위상을 과시할 계획이다. ASML·니콘·캐논 등도 300㎜ 웨이퍼 및 차세대 불화아르곤(ArF)용 노광공정 장비를 중점 선보이며 홍보전을 펼친다.

반도체 제조 후공정 장비·재료분야의 경우 테러다인·어드밴테스트·애질런트·슐럼버제 등이 로직(logic) 및 초고속 메모리 테스트 시스템을 내놓아 관람객들의 발길을 붙잡을 것으로 보인다. 조립공정 장비의 경우 첨단 검사장비 및 인라인(In Line)화한 장비들이 대거 출시될 예정이다.

아울러 반도체분야의 급속한 기술변화를 반영하듯 감광제·현상액·세정액·슬러리 등 미세공정을 지원하는 다양한 화학제품들이 출품돼 이목을 모을 전망이다.

이번 전시회에 특히 국내에서는 그동안 장비·재료 국산화에 심혈을 기울여온 신성이엔지·실리콘테크·아이피에스·동진쎄미켐 등 10여개 반도체 장비·재료 제조업체들이 전시부스를 마련해 식각장비·칠러·IC핸들러·모듈테스터·감광제·펠리클 등을 직접 출품하고 시장공략에 나선다.

이번 전시회 기간중에는 세계 반도체 공정기술 표준 및 환경·안전과 관련한 각국 전문가들 회의, 300㎜·구리칩·패키징 기술세미나 등이 열려 차세대 첨단 장비·재료 기술시장의 흐름을 가늠해볼 기회를 제공할 전망이다.

한편 한국반도체산업협회는 현지시각으로 11일 샌프란시스코 아전트(Argent)호텔에서 미국의 장비 및 재료업체 사장단 등 90여명과 국내 반도체 소자 및 장비·재료업체 사장단 60여명 등 150여명이 참석하는 리셉션을 열 계획이다.

미국 업체에 국내 반도체산업의 현황을 소개해 한국에 대한 투자 붐을 조성하고 한·미 반도체업체간 교류를 확대하기 위해서다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>