기림세미텍, 건식 에처용 실리콘 음극 공급 박차

반도체 관련 부품 제조업체인 기림세미텍(대표 이정기 http://www.kirim-s.com)은 지금까지 반도체업체들에 8인치 웨이퍼용 실리콘 음극(캐소드)을 600여개 납품하는 등 판매가 호조를 보이고 있어 올해 실리콘 캐소드 부문에서 지난해보다 100% 증가한 60억∼70억원의 매출을 올릴 것으로 기대하고 있다.

이 회사가 자체 개발해 공급하는 8인치 웨이퍼용 실리콘 캐소드는 건식 식각공정 중 웨이퍼 위에 부착돼 공정가스를 일정하게 분사시키고 플라즈마를 발생시키는 전극의 역할도 수행하는 제품으로 반도체 생산라인에서 에처 한대당 월 1개씩 교체 수요가 발생하는 필수 소모품이다.

이 회사는 다음달중으로 에칭 공정장비의 체임버내 온도가 상승하는 것에 대응, 그래파이트(graphite)와 평판 플레이트의 접합을 기존의 인듐(indium) 대신에 엘라스토머를 써서 접합한 새로운 캐소드를 출시하는 한편, 경기도 화성군 동탄면 소재 공장의 실리콘 캐소드 생산량을 늘릴 계획이다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>