반도체 제조용 종형확산로 국내생산 본격화 전망

반도체 웨이퍼 및 액정표시장치(LCD) 제조공정용 핵심장비로 그동안 일본업체로부터 수입에 의존해온 종형확산로(vertical diffusion furnace)가 국산으로 대체될 전망이다.

28일 관련업계에 따르면 산화막 형성에 주로 사용하는 확산로는 웨이퍼 제조라인 1개당 100대 가량이 소요되는데 국내시장 규모는 지난해 4500만달러선에서 올해 1억달러 이상으로 커질 전망으로 그동안 전량 수입에 의존해왔다.

이번에 한국고요써모시스템·서울일렉트론 등이 종형확산로의 개발·양산에 나설 예정이어서 상당량을 국산으로 대체할 수 있을 것으로 기대되고 있다.

케이씨텍과 일본 KTSK의 합작회사인 한국고요써모시스템(대표 이와도 가쓰오)은 저온에서 온도 안정성 및 제어성이 우수한 LGO(Light Gauge Overbend) 방식 히터를 채택한 웨이퍼 및 LCD 제조용 종형확산로를 개발하고 하반기부터 안성공장에서 생산할 예정이다.

이 회사는 이미 국내 LCD업체에 공급 계약을 체결하는 등 적극적인 마케팅 활동으로 올해 65억원의 매출을 올리는 한편, 수요확충에 대비해 안성공장 옆 부지에 전용 공장 신설계획도 추진중이다.

서울일렉트론(반도체사업부문 대표 김광교 http://www.sel.co.kr)은 올초 일본 디에스아이(DSI)와 종형확산로 기술이전 계약을 맺은데 이어 이달중으로 1989평(클린룸 100평) 규모의 천안공장 라인작업을 재정비, 다음달부터 종형·횡형 확산로를 생산할 예정이다. 이 회사는 이미 국내 반도체업체로부터 종형확산로 2대를 수주했으며 추가물량 확보를 추진중이다.

<온기홍기자 khohn @etnews.co.kr>