삼성전자(대표 윤종용 http://www.sec.co.kr)는 현재 천안공장에 짓고 있는 730×920㎜의 4세대 생산설비에 기존 인라인(in-line)시스템 대신 클러스터툴(cluster tool) 방식의 설비를 도입한다.
미국 캘리포니아 롱비치에서 열리고 있는 SID 심포지엄에서 삼성전자 장원기 천안공장장은 『기존 인라인시스템으로는 생산에 한계가 있다』면서 『클러스터툴 방식을 채택하면 한꺼번에 대량생산이 가능하다』고 말해 4세대용 생산방식으로 클러스터툴 방식 채택을 간접 시사했다.
클러스터툴 방식은 인라인시스템에 비해 비용효율적이고 클린룸 면적을 3분의 1로 축소 가능하다는 것이 전문가들의 평이다.
장 공장장은 『대만업체의 생산량 증설 등으로 2001년에 4세대 평판디스플레이(FPD) 공급과잉이 우려된다』면서도 『다른 업체들도 새로운 방식의 공장에 투자할 것이며 그렇지 않을 경우 2002년에 다시 공급부족이 있을 수 있다』고 말했다.
<롱비치(미국 캘리포니아주)=신화수기자 hsshin@etnews.co.kr>
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