엑시머레이저 공급경쟁 가열 전망

국내 반도체 제조 및 장비업체들의 노광장비용 엑시머레이저(excimer laser)에 대한 선택의 폭이 한결 넓어질 전망이다.

이 시장은 지금까지 사실상 미 사이머(Cymer)의 독점체제였으나 최근 일본과 미국의 유수업체는 물론 국내 벤처기업까지 가세하면서 경쟁체제로 바뀌고 있다.

이에 따라 이 시장을 둘러싼 업체간 공급경쟁은 치열해질 전망이며, 반도체 제조 및 장비업체들은 엑시머레이저를 더욱 저렴하게 구입할 수 있게 됐다.

엑시머레이저는 설계된 회로를 웨이퍼에 투사해 그려 넣는 초자외선(DUV)용 스테퍼·스캐너에 장착하는 광원 공급장치다.

독일의 레이저업체인 람다피지크(Lambda Physik)는 국내 반도체산업용 레이저시장에 진출하기 위해 최근 국내업체인 화인반도체기술(대표 장명식 http://www.fstc.co.kr)과 엑시머레이저 총판계약을 추진중이다. 이 회사는 정식계약을 체결하는대로 화인반도체를 통해 국내 반도체업체에 대한 영업활동에 들어갈 예정이다.

일본의 코마츠(Komatsu)는 한국대리점인 미산인터내셔날(대표 박상민 http://www.misanltd.co.kr)을 통해 올들어 불화크립톤(KrF) 엑시머레이저를 잇따라 출시, 사이머에 도전장을 내밀었다.

이 회사는 특히 193㎚ 파장급 차세대 불화아르곤(ArF) 레이저도 경쟁사에 앞서 출시함으로써 차세대 광원시장을 선점할 방침이다.

국내 벤처기업인 레이저앤피직스(대표 한기관)는 최근 현대전자와 공동으로 KrF 엑시머레이저의 핵심인 발진기를 국산화해 올하반기부터 공급할 예정이다. 이 회사는 이 기술을 바탕으로 엑시머레이저도 직접 개발해 외국업체와 경쟁할 방침이다.

이에 맞서 미 사이머의 한국법인인 사이머코리아(대표 팽재원 http://www.cymer.com)는 248㎚ 파장의 엑시머레이저를 주력제품으로 수성에 나섰다. 이 회사는 또 2001년 초 상용화를 목표로 193㎚ 파장의 엑시머레이저를 개발중이다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>