아펙스, 반도체 장비 해외 첫 수출

반도체장비 전문 제조업체인 아펙스(대표 김상호 http://www.apexsemi.com)가 해외 시장 개척에 본격 나선다.

아펙스는 올 초 대만의 메크로닉스사로부터 반도체 스피너(Spinner)장비의 일종인 「핫 플레이트 오븐(Hot Plate Oven)」 1대를 수주받아 최근 납품한 데 이어 이달중 2대를 추가 수주했다고 23일 밝혔다. 아울러 현재 약 500만달러 규모의 스피너 장비 추가 수출을 위한 협상을 진행중이라고 덧붙였다.

이번에 수출키로 한 스피너는 아펙스가 지난해 12월 해외 제휴사인 독일의 페어차일드테크놀로지사로부터 스피너의 핵심기술을 이전받아 국산화한 장비로, 반도체의 리소그래피(Lithography) 공정에서 설계된 회로를 웨이퍼(Wafer) 위에 전사(轉寫)할 수 있도록 감광제(Photoresist)를 도포하고 스테퍼(Stepper)에서 전사된 회로설계도를 현상한 후 광감응제(PAC)를 안정화시키기 위해 높은 열을 통해 구어내는 기능을 통합 수행하는 트랙(Track) 장비다.

김상호 사장은 『회사 설립이래 이번에 처음으로 장비를 수출하게 됨으로써 그동안 연구개발용 장비를 줄곧 공급해온 수준에서 벗어나 양산용 반도체장비 공급업체로 거듭나게 됐다』고 말했다.

용어설명:핫 플레이트 오븐은 노광(Exposure)공정 전후에서 열에너지를 이용해 불필요한 물질을 제거하거나 광감응제를 안정화시키는 장비다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>