반도체 장비업계, 품목 다각화 박차

반도체 장비 제조업체가 앞다퉈 품목 다각화에 나서고 있다.

9일 관련업계에 따르면 극동뉴메릭·케이씨텍·주성엔지니어링 등 반도체 장비 업체들은 최근 풍부해진 자금력을 바탕으로 국내외 업체와의 활발한 기술 제휴를 통해 새로운 장비에 대한 기술 개발과 상품화를 적극 추진하고 있다.

케이씨텍(대표 고석태 http://www.kctech.co.kr)은 이달중 독일 슈테아그(STEAG)사의 프랑스 소재 화학기계적연마(CMP)장비 생산공장과 인력을 인수하고 기존의 웨트 스테이션(Wet station)장비와 함께 주력 사업으로 육성키로 했다.

반도체 검사장비 전문업체인 극동뉴메릭(대표 김한기)은 최근 일본의 STC사와 제휴해 내년 상용화를 목표로 300㎜ 웨이퍼용 식각장비(Etcher)의 개발에 들어간데 이어 미국의 에어테스트시스템(ATS)사와 웨이퍼 상태에서 칩의 불량여부를 가려내는 웨이퍼번인검사장비(WLBT) 개발도 추진하고 있다.

화학증착(CVD)장치 전문업체인 주성엔지니어링(대표 황철주 http://www.jseng.com)은 CVD 제조기술을 바탕으로 드라이 에칭(Etching) 공정장치 개발에 들어가 올 연말께 성능 테스트를 거친 제품을 내놓을 예정이다.

칠러·항온항습기 생산업체인 코삼(대표 김범용 http://www.cosam.co.kr)은 반도체 제조 앞공정에서 발생하는 잔유물을 제거하는 12인치 웨이퍼용 애셔(Asher) 개발과 함께 일본 업체와 공동으로 LCD 제조용 검사장비 등도 개발중이다.

펠리클(Pellicle)을 공급해온 화인반도체기술(대표 장명식 http://www.fstc.co.kr)은 열전소자 방식의 칠러(Chiller)에 이어 반도체 에칭 공정용 장비에 부착되는 필수 소모품인 정전척(ESC)과 실리콘 머티리얼 개발도 추진하고 있다.

클린 장비업체인 유니셈(대표 김경균 http://www.union-ind.com)은 다음달까지 경북대와 공동으로 오존 발생기 시스템을 개발할 예정이며 검사장비 업체인 오성엘에스티(대표 윤순광 htto://www.o-sung.co.kr)도 미국 업체로부터 반도체 제조 앞공정 장비 기술 이전을 받아 개발에 착수할 계획이다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>