한국알박, 국내 PVD 생산공장 건설 착수

한국알박(대표 쯔나시마 가쯔오)은 일본진공기술과 손잡고 한국에 평판디스플레이(FPD)·반도체 등 디바이스 양산용 물리기상증착(PVD)장치의 생산 및 유지보수를 위한 공장을 건설할 계획이라고 29일 밝혔다.

이 회사는 평택 공업단지에 5000평 규모의 부지를 마련하고 1단계로 올해 7월까지 1700평 규모의 공장을 건설해 액정표시장치(LCD)용 PVD의 생산에 들어갈 예정이다.

이 회사가 생산할 PVD는 구리(Cu)합금을 기본으로 주석(Sn)까지 8인치와 12인치 웨이퍼 제조공정에 쓰이는 핵심장비다.

이 회사는 또 신공장에서 기존 장치의 유지보수·서비스는 물론 드라이 펌프(Dry Pump) 등을 오버홀(Overhaul)할 수 있는 시설을 갖추고, 진공 펌프를 사용한 배기세트와 He(헬륨) 리크(Leak) 테스트장치의 국산화에도 나설 예정이다.

이 회사의 백충열 전무는 『국내 소자업체들에 안정된 장비의 공급을 최우선으로 하면서, 점차 국산화율을 높일 계획』이라며 『본격적인 국내생산을 통해 2001년에 300억원, 2004년에 1000억원의 매출을 올릴 것』이라고 말했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>