셀라이트, 웨이퍼 에지 검사장치 개발

반도체 검사장치 전문업체인 셀라이트 (대표 홍성균 http://www.selight.co.kr)는 업계 처음으로 웨이퍼 에지(wafer edge) 검사장비(모델명 Edge-2000)를 개발, 4월부터 본격 공급에 나선다고 20일 밝혔다.

셀라이트가 충북대 전기전자공학부와 1년여의 산학협동을 거쳐 개발한 이 장비는 웨이퍼의 테두리에 생긴 칩핑(chipping) 결함을 검사하는 장치로 이미지 프로세싱 기술을 이용해 육안으로 판별이 불가능한 결함까지도 자동으로 검출할 수 있다.

홍성균 사장은 『칩핑 결함이 있는 웨이퍼는 열(Thermal stress)에 매우 약해 디퓨젼 확산로(Diffusion furnace)에서 깨지기 때문에 같은 확산로 안에 있던 모든 웨이퍼들도 오염돼 못쓰게 될 뿐만 아니라, 확산로도 오염제거를 위한 클리닝을 해야 하기 때문에 기계작동이 불가능해져 결과적으로 반도체의 수율과 생산성에 상당한 악영향을 끼치게 된다』고 말했다.

홍 사장은 또 『앞으로 고집적 디바이스나 300㎜ 웨이퍼 제조과정에 서멀(Thermal) 공정이 더욱 많아질 것이기 때문에 이 장비의 수요는 더욱 많아질 것으로 기대된다』고 덧붙였다.

이 회사는 이 웨이퍼 에지 검사장비에 대해 한국을 비롯, 미국·대만 등지에서 특허를 출원했으며, 4월중 본격 생산에 착수, 국내외 반도체 소자업체들을 대상으로 공급에 나설 예정이다.

이 회사는 이를 통해 올해 50억원의 판매실적을 올리고 2001년에 120억원, 2002년 400억원으로 매출을 크게 끌어올릴 계획이다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>