<세미콘코리아 2000 특집>신성이엔지

반도체장비 전문 생산·설비업체인 신성이엔지(대표 이완근 http://www.shinsung.co.kr)가 이번에 출품하는 제품은 슬림·일체형 신성팬필터유닛(SFU), 에어워셔(Air Washer)시스템, 웨이퍼소터(Wafer Sorter) 등이다.

신성팬필터유닛은 클린부스(Clean Booth)나 스토커(Stocker) 등처럼 공간이 부족한 곳에 설치가 적합할 뿐만 아니라 모듈 유닛 조합으로 청정도 조절이 쉬운 슬림형과 유닛케이스를 하나로 만들어 강도가 높은 일체형이 있다.

에어워셔시스템은 산업용이나 일반 건물의 공조시스템과 함께 사용돼 외부 공기에 포함된 먼지와 미량의 가용성(산성·알칼리성) 가스를 제거하는 장치다.

이 제품은 화학 오염물질 제거 성능이 우수하고 저수량·저분무압으로 포화효율이 높아 분무량을 50% 이상 절감, 운영비용을 줄일 수 있는 것이 장점이다.

이밖에 광문자 인식(Optical Character Recognition)을 통해 웨이퍼 로트(Lot) 관리에 편리한 웨이퍼 소터, 웨이퍼 프리얼라이너(Pre-aligner) 등이 함께 전시된다.