태양테크, PFC 가스 스크러버 개발·출시

반도체장비업체인 태양테크(대표 조현기 http://www.taeyang.com)는 삼성전자와 공동으로 반도체 제조공정에 쓰이는 과불화화합물(PFC : Perfluorocarbons) 가스를 제거하는 세정장비(Scrubber)를 개발했다고 7일 밝혔다.

이 회사가 지난 3년동안 청정생산기술사업과제의 일환으로 총 10억원의 연구개발비를 투입해 개발한 이 스크러버는 고온의 열(Burn)분해방식을 채택, 각국이 방출규제를 합의한 SF●·NF₃ 등의 PFC계열 가스를 분해해 무해한 상태로 바꿔 대기중에 방출한다. 또 자가발생 열원장치도 내장했으며 PFC 가스가 분해된 후 냉각되면서 재결합하는 현상도 해결했다.

이 회사는 이번 PFC 가스 스크러버에 대한 신뢰성 시험을 거쳐 최근 삼성전자에 공급하기로 계약했으며 이달중 경기도 화성공장에서 생산할 예정이다.

태양테크는 특히 이번 PFC 가스 스크러버 개발을 계기로 PFC계열 가스는 물론 반도체 제조과정에서 사용하는 모든 가스를 하나의 장비로 처리하는 「복합형 가스 스크러버」도 상반기중 선보일 계획이다.

이 회사는 다음달중으로 화성공장 옆에 500평 규모로 제2공장을 가동하는 등 생산량을 크게 늘려 올해 150억원의 매출을 달성할 계획이다.

<온기홍기자 khohn @etnews.co.kr>