<화요특집-KOSE 99> 주요업체 출품작.. 아토 "가스 퓨리파이어"

　아토(대표 오순봉)는 가스 퓨리파이어와 열 교환기를 전시한다.

　가스 퓨리파이어는 반도체 및 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD)를 포함한 평판디스플레이, 광섬유 등 초고순도의 가스가 필요한 여러 분야에서 사용되는 장비로 물·산소·일(이)산화탄소·질소 등 가스 중에 포함된 불순물을 제거한다. 아토가 생산하는 장비는 1ppb 이하까지 정제할 수 있으며 이 수치는 세계 최고 수준이다.

　특히 이 장비는 향후 256메가·1기가 등 반도체의 고집적화가 진행되는 상황에서 더욱 정제된 가스가 필요하게 돼 수요가 상당할 것이라는 게 아토측의 설명이다.

　이 회사는 현재 4종류로 구분된 가스 퓨리파이어 판매를 시작했으며 이를 통해 국내에서 약 12억원의 매출을 올렸다. 내년부터는 동남아 시장을 대상으로 수출에 주력한다는 계획이다.

　열 교환기는 반도체공정 가운데 화학기상증착(CVD) 등이 진행될 때 내·외부의 영향으로 웨이퍼상의 온도가 변화하는 것을 막아주는 장비로, 앞으로 반도체 웨이퍼의 대구경화로 인한 프로세스설비의 멀티체임버화에 대비할 수 있는 게 특징이다.