성진네텍, 반도체.LCD 스캔비전 검사기술 개발

　성진네텍(대표 여일균)이 반도체와 액정표시장치(LCD)의 생산공정중에 카메라에 의한 인공시각 검사장비의 성능을 향상시킬 수 있는 스캔비전 검사기술을 개발했다고 13일 밝혔다.

　스캔비전 검사기술은 반도체와 LCD의 검사과정에서 카메라 대신 거울을 고속·초정밀도로 움직여 넓은 검사영역을 좁은 관찰영역으로 나눠 검사하는 것으로, 저해상도 카메라로 초고해상도 카메라를 이용한 효과를 내기 때문에 카메라만을 사용하는 기존 검사방법보다 속도와 성능이 뛰어나고 비용도 저렴하게 드는 것이 장점이다.

　카메라나 검사대상을 움직여 검사작업을 수행하는 기존 방식은 이동시간이 길어 생산성이 떨어지고 진동과 기계마모 등의 문제를 해결하기 위해 고해상도 카메라와 비싼 가동장치를 도입해야 했다.

　스캔비전 검사기술은 이와 함께 에러율이 낮고 고속·초고정밀도 거울제어, 고속 이미지프로세싱, 광학 등 여러 분야의 기술이 혼합돼 반도체와 LCD뿐만 아니라 의료기기·통신기기 등 다양한 영역에 사용할 수 있다고 성진네텍을 말했다.

　성진네텍은 이를 통해 내년 140억원, 2001년 300억원의 매출을 올릴 수 있을 것으로 기대하고 있다.

이일주기자 forextra@etnews.co.kr