광전자반도체, 이온주입 서비스 개시

　화합물 반도체 전문업체인 광전자반도체(대표 조장연)가 화합물 반도체 전용 이온주입기(모델명 NV6200A)를 설치 완료하고 이온주입 서비스를 개시한다.

　이 회사는 최근 화합물 전자소자 사업을 진행하는 과정에서 이튼사로부터 이온주입기를 구입, 자체물량을 소화하고 남은 부분을 국내 연구기관이나 업체들에 이온주입 서비스를 실시키로 했다.

　광전자반도체의 김철상 책임연구원은 『지금까지 국내에서 화합물 반도체 전용 이온주입 서비스를 실시하는 기관이나 업체가 없어 이같은 작업을 하기 위해서는 해외업체에 의뢰해야 했다』며 『이럴 경우 3, 4주가 소요되는 데다 가격도 웨이퍼 1장당 1백달러 가까이 지불하는 등 불편함이 뒤따랐다』고 말했다.

　이 회사가 보유한 이온주입기는 베릴륨(Be+)·실리콘·불소(F+) 등 3, 5족 원소를 4인치 이하의 웨이퍼에 주입할 수 있으며 매스 스펙트로미터를 이용, 빔의 위치 확인 및 범위설정이 가능하다. 주문 처리 기간은 2일이다.

<유형준기자 hjyoo@etnews.co.kr>