신성이엔지, 반도체장비 신제품 대거 출시

　국내 최대의 클린룸 설비업체인 신성이엔지(대표 이완근)는 최근 개최한 신제품 발표회를 통해 웨이퍼 자동이송 및 차세대 국부 클린룸 관련 반도체 장비와 향공조 시스템 등 일반 산업용 공조 설비 10여종을 일제히 선보였다.

　이 가운데 반도체 및 LCD 장비 분야에서 신성은 자동 카세트 방식의 웨이퍼 이송장치(Sorter) 「WCS2004」와 차세대 국부 클린룸 설비인 SMIF(Standard Mechanical Interface) 시스템용 로더 및 언로더 장치인 「SSL2000」을 출시했다.

　이 회사가 개발한 웨이퍼 자동이송장치는 반도체 웨이퍼 일관가공(FAB)공정 중 웨이퍼의 손상을 최소화하기 위해 특정 카세트에서 임의의 카세트로 자동 이송, 정렬시켜 주는 일종의 핸들링 머신으로 8인치 카세트용 포트 4개를 보유한 WCS2004는 광문자(OCR) 인식을 통한 ID판독과 윈도95 운용체계의 쉬운 인터페이스를 구현한 것이 특징이다.

　SSL2000은 차세대 SMIF 시스템에 들어갈 초소형 클린룸 설비(Mini Environment)의 하나로 웨이퍼를 담는 용기인 밀폐형 퍼드(Pod)를 공정 장비로 이동시키는 일종의 로더 및 언로더 장치다.

　또한 이 회사는 미국의 반도체 공정 자동화 장치 전문 생산업체인 PRI사와 공동으로 현재 개발중인 차세대 평면패널디스플레이(FPD)용 스토커(Stocker)도 선보였는데 이 제품은 오는 6월 본격 출시될 예정이라고 밝혔다.

　이밖에 실내 청정은 물론 악취 제거 및 방향 기능도 함께 보유한 새로운 향공조 시스템과 일반 사무실용 CAM(Conditional Air Module) 및 FSS(Flexible Space System) 제품도 출시됐다.

　신성이엔지는 이번 신제품 출시를 계기로 본격적인 국내 및 해외시장 개척에 나설 방침이며 3백㎜ 웨이퍼 및 국부 클린룸용 추가 장비 개발도 적극 추진할 계획이다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>