삼성전자, 초정밀 유량계 개발

　삼성전자(대표 윤종용)가 국내 중소 벤처기업인 SEBA와 공동으로 반도체 제조용 초정밀 적산 유량계(Cyclone Turbine Flow Meter)를 개발, 본격적인 양산에 나선다고 26일 밝혔다.

　이번에 개발된 제품은 반도체 제조 과정 중 웨이퍼 세정 공정에 사용되는 각종 초순수 및 케미컬의 유량을 정확히 측정하는 장비로 0.3ℓ급 저유량 대역에서 오차율 0.3% 이하의 초정밀 유량 제어 기능을 구현한다.

　또한 특수 제작한 터빈 베어링의 채용으로 내구성을 높이고 마찰 저항을 최소화 했으며 사이클론 고정 터빈과 회전 로터의 2중 구조를 채택, 압력 및 유량 변화에 강하고 광범위한 유량 측정이 가능하다.

　삼성전자는 이번 개발과 관련된 각종 핵심 기술을 SEBA와 공동으로 특허 출원하는 한편 반도체 사진 공정용 약품 혼합 장비 개발도 내년 상반기까지 완료, 세계적으로도 아직 초보 단계에 머무르고 있는 액체 정량 제어장치 등의 초정밀 계측 분야 기술 개발에 적극 나설 방침이다.

　이 회사 반도체 생산 기술팀 정호균 상무는 『이번 초정밀 유량계의 국내 개발 성공은 약 1천억원 규모에 달하는 이 분야 시장의 국산 대체는 물론 향후 반도체를 비롯한 각종 정밀 장비의 국산화율 제고에 결정적인 계기가 될 것』으로 전망했다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>