NEC, 파장다중광통신용 반도체레이저 저가화 기술 개발

　일본 NEC가 파장다중광통신용 광원(반도체레이저)을 저가로 양산할 수 있는 기술을 개발했다고 「일경산업신문」이 최근 보도했다.

　이에 따르면 이 회사는 동일 웨이퍼에서 파장이 다른 반도체레이저를 만드는 방법을 고안, 실제 4장의 웨이퍼로 64종류의 광원을 만드는 데 성공했다.

　파장이 다른 빛을 중첩해 한 개의 광파이버로 보내는 파장다중광통신에서는 지금까지 파장이 서로 다른 광을 내는 광원을 각기 다른 반도체 웨이퍼로 만들었다.

　따라서 이번 NEC의 성과는 파장다중광통신의 심장부에 해당되는 광원의 양산기술을 사실상 확립했다는 의미를 지니는 것으로 상용화 초기단계에 있는 파장다중광통신의 보급을 촉진시키는 계기가 될 것으로 주목된다.

　NEC가 이번에 개발한 광원은 반도체레이저와 「변조기」를 원칩화한 「변조기집적광원」이라는 핵심장치로 다중통신에 사용하는 1천5백30∼1천6백㎚ 파장대를 4분할하고, 그 각각에 인듐·인을 재료로 하는 직경 2인치의 웨이퍼 4장을 할당해 만들었다. 변조기는 반도체레이저에서 나온 빛을 「온(on)」 「오프(off)」하는 기능을 지닌다.

　이번 개발에서는 중심부에서 바깥쪽으로 1㎚씩 긴 파장의 빛이 나오도록 변조기집적광원을 동심원 모양으로 만든 것이 핵심이다.

　1㎚씩 파장이 다른 빛이 나오도록 하기 위해선 반도체레이저 내 회절격자(回折格子:특정 파장의 광만을 강화하기 위해 아주 작은 홈을 파놓은 구조) 간격을 0.1㎚씩 변경해야 하는데 NEC는 새로운 전자빔노광법을 개발해 한 장의 웨이퍼에 16종류의 광원을 만드는 데 성공했다.

　NEC의 새 전자빔노광법은 전자선(線)의 조사량을 변화시킨 복수의 전자빔을 중첩함으로써 회절격자의 간격을 정확히 0.1㎚로 조절할 수 있다. 종래 방법에서는 회절격자의 간격을 2.5㎚로 하는 것이 한계이기 때문에 파장을 1㎚씩 변경할 수 없었다.

<신기성 기자>