고베제작소, 美 실리콘웨이퍼 재생공장 "KPI" 생산능력 증강

　일본 고베제작소가 미국내 전액출자 자회사인 고베 플래시존(KPI)의 실험용 실리콘웨이퍼 재생공장을 증설했다.

　「일경산업신문」에 따르면 고베제작소는 최근 KPI에 2천3백만달러를 설비투자해 기존 월 3만장 정도였던 실리콘웨이퍼 재생공장의 생산능력을 월 9만장 체제로 확대했다.

　이로써 KPI는 북미지역에서 가장 큰 재생웨이퍼 공장이 됐으며 고베제작소는 향후 반도체시장이 회복기조로 돌아설 것으로 판단, 설비를 더욱 증강하는 방안을 검토중이다.

　실험용 웨이퍼는 반도체 제조공정에서 실험에 사용되는 웨이퍼로, 일반적으로 여러번 재생할 수 있다. 일반적인 재생웨이퍼의 경우 재생가능 횟수가 2번 정도지만 KPI는 독자 재생가공기술을 사용해 7번까지 재생 가능하다고 밝히고 있다.

　KPI는 지난 89년 설립된 회사로 96년부터 실험용 웨이퍼 재생사업을 전개해 오고 있다.

<심규호 기자>