<시리즈> 월요 연구소 탐방 (18);케이씨텍 부설 기술연구소

　지난 87년 창립한 케이씨텍(대표 고석태)은 장비 수입의 경험을 바탕으로 자체 개발을 추진, 국산 장비 생산업체로까지 발돋움한 반도체 장비 분야의 대표적인 성공기업이다.

　지난 5∼6년간 가스 관련 장비 국산화에 끊임없이 도전해온 이 회사는 가스 캐비닛에 이어 동종 분야인 스크러버·퓨리파이어 등과 같은 가스 정제 및 처리설비도 잇따라 개발해 냄으로써 국내 최대 가스 관련 종합설비업체로 자리를 굳혔다.

　또한 지난해에는 일본 고요린드버그와 합작으로 한국고요린드버그를 설립, 반도체 전공정용 핵심장비인 수직형 퍼니스시장에 진출하며 장비 설계 및 제작 기술의 자체 개발을 통한 독립적인 생산체제 구축을 추진하고 있다.

　이처럼 케이씨텍은 선진 외국기술의 도입을 통해 시장 진출의 발판을 마련하고 기술이전과 자체적인 연구개발 노력으로 이를 차츰 국산화시켜 나가는 사업 추진방식을 채택하고 있다. 그리고 이러한 형태의 사업 추진이 성공적으로 이뤄질 수 있었던 데는 이 회사 기술연구소의 왕성한 개발 활동이 가장 큰 뒷받침이 됐다.

　지난 93년 설립된 케이씨텍 부설 기술연구소(소장 심현준)는 연구전담요원 16명과 연구보조원 8명, 그리고 관리직원 3명 등 총 27명의 연구인력을 갖춘 국내 중소장비업체로는 보기 드문 대규모 연구 조직이다.

　그만큼 이 연구소가 회사내에서 차지하는 사업 비중이 클 뿐만 아니라 개발 및 연구 대상 영역도 광범위하다.

　케이씨텍이 주력으로 하는 가스캐비닛과 스크러버·퓨리파이어 등의 분야는 물론 이들 장비에 들어가는 핵심부품인 가스압력조절기(VMB) 및 벌브 제품도 이 연구소의 주요 개발 대상이다.

　이에 대해 심현준 연구소장은 『핵심 장비 부품이 국산화되지 않은 장비 개발은 큰 의미가 없으며 따라서 각종 반도체 장비 개발과 함께 이에 들어갈 핵심 부품의 국산화도 우리로서는 결코 소홀히 할 수 없는 분야』라고 강조한다.

　이와 함께 차세대 장비 기술에 대한 케이씨텍 연구소의 개발 노력도 점차 구체화되고 있다.

　특히 최근 이 연구소는 산업자원부 산하 한국생산기술연구원이 주관하는 「청정생산 기술사업」의 신규 개발 과제 중 하나인 과불화화합물(PFC) 처리용 가스 스크러버와 이산화탄소를 이용한 극저온 세정장비의 개발추진기관으로 선정됐다.

　가스 스크러버는 반도체 제조과정 중 에칭 및 증착과정에서 주로 발생하는 각종 유독가스를 정화 처리하는 설비로 지구 환경 파괴 문제에 대한 반도체업체들의 관심이 높아지면서 최근 이 장비의 채택 및 출시가 붐을 이루고 있다.

　이런 가운데 케이씨텍 연구소가 개발, 추진할 플라즈마 방식의 가스 스크러버는 현재 주류를 이루고 있는 번인(Burn-In) 및 웨트(Wet) 방식 제품보다 한단계 발전된 형태로 미국 등 선진국을 중심으로 점차 도입되기 시작한 차세대 제품이다.

　또한 극저온 세정장비는 현재의 웨이퍼 세정장비들이 주로 사용하는 각종 유독 화학물질 대신 이산화탄소를 이용, 웨이퍼를 세척함으로써 작업후 유해물질 발생량을 획기적으로 줄일 수 있는 환경 보존형 장비다.

　이러한 첨단 장비의 개발에 대해 심 소장은 『차세대 장비의 국산화작업은 관련 장비의 수입대체 효과와 함께 국내 소자 생산업체의 원가 절감을 통한 전체 반도체 산업의 경쟁력 강화에도 크게 기여할 수 있다』며 『따라서 우리 연구소의 이러한 개발 추진은 단순한 사업 성과 차원이 아닌 국내 반도체 산업의 전체적인 기술 발전을 위한 노력이라는 게 케이씨텍 연구 직원들의 자부심』이라고 강조했다.