[화요특집-반도체.부품장비] LCD 장비.. 한일초음파/유리세척시스템

　한일초음파(대표 김채진)가 공업기반기술 개발과제의 하나로 자체 개발한 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD)용 유리세척시스템은 수율의 관건인 미세입자 제거 및 세척의 균일성이 커다란 효과를 발휘한 제품이다.

　이 제품은 라인방식으로 브러싱에 의한 양면세정에서 초정밀 세척용인 메가소닉 유닛까지 용도에 맞게 구성되어 있으며 낱장처리식 구동장치와 제어장치를 채용, 오염물이 재부착되는 것을 방지하고 자동으로 시스템 컨트롤 및 모니터에 의한 터치스크린 방식으로 조작할 수 있어 사용자의 편리성을 최대한 고려해 설계된 제품이다.

　이와 함께 이 제품은 스프레이식 메가소닉을 이용하여 서브미크론급 미세입자까지도 완전히 제거할 수 있으며 탈산소수 제조장치를 이용하여 표면장력을 극대화함으로써 완벽한 건조가 가능한 것이 가장 큰 특징이다.

　특히 이 회사가 독자적으로 개발한 발진회로와 특수구조의 멀티바진동자를 사용하여 40∼90㎑대의 초음파를 복합발생시켜 액의 깊이·수위·온도 등의 변화에 따른 변동이 작아 단주파방식에서 볼 수 없는 균일 세척이 가능하다.

　제품별·공정별로 세척대상물질, 오염물질의 종류와 물성에 맞게 적절한 세척이 가능한 이 제품은 TFT LCD뿐만 아니라 PDP·HDD·반도체 등 정밀세척이 필요한 분야에 모두 적용할 수 있다.