삼성정밀화학, 반도체 현상액 개발

삼성정밀화학(대표 박영구)은 64MD램 반도체 제조에 사용되는 노광 공정용 핵심 재료인 현상액을 국내업계 최초로 개발했다고 4일 밝혔다.

　삼성정밀의 자회사인 한덕화학이 개발한 이 반도체 현상액은 웨이퍼에 설계된 회로를 전사시킨 후 이를 현상하는 데 사용되는 순도 ppt(1조분의 1) 단위의 초정밀 제품이다.

　삼성정밀은 이번 현상액 개발로 연간 2백억원 이상의 수입 대체효과를 거둠과 동시에 차세대 반도체 핵심 재료에 대한 제조 및 개발 기술을 갖추게 됐다고 설명했다.

〈주상돈 기자〉