AMK, 플라즈마 방식 CVD장비 공급

세계 최대 반도체 장비 업체인 어플라이드머티리얼즈가 기존 장비의 생산성을 획기적으로 향상시킬 수 있는 새로운 공정 플랫폼을 채택한 최신 플라즈마 방식 화학증착(PECVD)장비를 전격 출시했다.

이 회사 한국 지사인 AMK(대표 이영일)는 기존 매엽식 웨이퍼 공정 기술의 잇점과 여러장의 웨이퍼를 함께 다루는 멀티 체임버 방식의 장점을 상호 결합한 혁신적인 구조의 PECVD 장비 「프로듀서( Producer)」를 이달부터 본격 공급한다고 4일 밝혔다.

이번 출시된 「프로듀서」는 0.18 미크론 이하 소자의 알루미늄 및 구리 배선과 저유전체 박막 증착에 사용되는 장비로 최근 어플라이드가 개발한 새로운 공정 플랫폼을 채택, 웨이퍼 처리 능력의 극대화를 통한 반도체 생산 비용 절감에 초점을 둔 제품이다.

이 장비에 부착된 트윈 체임버는 독립된 환경하에서 2장의 웨이퍼를 동시에 가공할 수 있있으며 한 개의 장비에 최대 3개의 트윈 체임버를 함께 부착할 수 있다.

따라서 「프로듀서」는 중앙의 웨이퍼 전송 로봇이 2장씩의 웨이퍼를 각각의 트윈 체임버에 전송하고 이를 통해 6장의 웨이퍼를 동시에 가공함으로써 시간당 1백장 이상의 빠른 웨이퍼 처리 능력를 구현한다.

또한 이 장비는 원격 플라즈마 세정으로 지구온난화 물질을 발생시키지 않으며 현재 출시된 200mm 웨이퍼용 장비을 300mm 용 제품으로 쉽게 업그레이드할 수 있다.

어플라이드측 한 관계자는 『프로듀서가 채택한 혁신적인 구조는 최저의 장비 운영비로 최대의 수율과 높은 생산성을 거두고자 하는 반도체 업체들의 요구에 부응한 것으로 향후 다양한 어플리케이션에 적용될 첨단 반도체 장비의 새로운 기술 표준으로 자리잡게 될 것』이라고 강조했다.

<주상돈 기자>