에어리퀴드, 현장생산 방식 초고순도 약품 공급 시스템 공급

반도체 약품업체인 에어리퀴드코리아서비스(대표 베르나르 데노)는 자사의 현장생산 방식(On-Site) 초고순도 약품 공급 시스템을 경남 소재 반도체 부품 회사인 한국동경시리콘에 공급, 설치키로 했다고 22일 밝혔다.

에이리퀴드가 생산하는 온 사이트 약품 공급 시스템은 원료저장탱크 및 화합물제조기를 이용해 각종 고순도 약품을 생산 현장에서 즉시 공급할 수 있도록 하는 첨단 설비로 약품 공급과 보관에 따른 비용 및 위험 부담을 최소화할 수 있는 것이 장점이다.

특히 이번 공급되는 제품은 10ppm에서 ppb 단위 수준의 고순도 질소 약품을 발생시키는 장치로 자체적인 첨단 모니터링 시스템을 통해 지역과 관계없이 전화를 이용한 무인 관리 및 운영이 가능하다.

<주상돈 기자>