실리콘테크, 트랙 장비용 핵심 모듈 수출

반도체 장비 업체인 실리콘테크(대표 우영환)가 케미컬 공급장치, 코터(Coater), 디벨로퍼(Developer), WEE(Wafer Edge Exposure)시스템 등과 같은 차세대 트랙 장비용 핵심 모듈을 잇따라 개발, 해외 소자 및 유력 장비 업체에 본격 수출한다.

이 회사는 최근 대만의 TI-에이서, TSMC, MXIC, 뱅가드 등의 업체에 총 80만 달러어치 상당의 트랙 장비용 핵심 모듈을 수출키로 한데 이어 이달에는 삼성전자 오스틴 공장에 12만달러어치 가량의 제품을 1차 공급키로 했다고 27일 밝혔다.

또한 이 회사는 최근 미국의 최대 트랙 장비 생산 업체인 FSI社에 핵심 모듈의 납품을 이미 시작한데 이어 SVG 및 페어차일드社와도 현재 트랙 장비용 핵심 모듈의 공급을 협의 중에 있어 이 제품의 올해 수출 물량은 총 5백만달러 수준을 넘어설 것으로 기대하고 있다.

실리콘테크가 국내 업계 최초로 개발, 수출하는 트랙 장비용 핵심 모듈은 코터, 디벨로퍼, 탈기시스템, 케미컬 공급 및 유량감시 장치, WEE시스템 등으로 트랙 장비 제조시 전체 시스템 성능을 좌우하는 핵심 품목들이며 차세대 DUV 노광공정에까지 적용할 수 있는 첨단 제품들이다.

특히 이 회사가 개발한 케미컬 공급 장치는 기존 외산 제품에 비해 그 크기가 절반 수준 정도이며 자체 제작한 운영 컨트롤러를 탑재, 전체 배관의 구성 및 상태 표시는 물론 한글, 영문, 일어 등 3개 국어가 함께 지원된다.

또한 이 회사 특허 기술인 WEE시스템은 작업 웨이퍼의 바깥 영역을 설정치 만큼 자동 노광시켜주는 장비로 웨이퍼 이송에 따른 작업 손실을 최소화해 트랙 공정의 생산 효율을 획기적으로 올릴 수 있는 최신 제품이다.

이에 따라 이 회사는 1백30평 규모의 제2공장을 최근 본격 가동함으로써 월 7대의 트랙 장비 생산 능력을 확보한데 이어 올해 하반기에는 곤지암 인근 3천평 부지에 대단위 트랙 장비 생산 공장도 건설할 계획이다.

또한 수출 시장 개척을 위해 미국 포틀랜드 지역에 현지 A/S 및 생산을 담달할 지사 설립을 추진하고 있으며 50여종 이상의 관련 장비 개발 기술을 현재 특허 출원중이다.

이 회사 우상엽 기술 담당 이사는 『그동안 쌓아온 트랙 장비용 핵심 모듈 제조 기술을 바탕으로 올해부터는 전체 트랙 시스템의 개발 및 출시는 물론 업그레이드 사업도 적극 추진할 계획이며 이를 통해 총 1백50억 이상의 매출을 올릴 계획』이라고 밝혔다.

트랙 장비는 감광 재료인 포토레지스트를 웨이퍼에 도포한 후 이를 다시 현상해 주는 반도체 노광 공정용 핵심 장비로 대당 제품 가격이 20억원을 호가하는 전공정 고부가가치 제품이다.

<주상돈 기자>