아펙스, 갈륨비소 에피웨이퍼 시제품 생산

반도체 장비업체인 아펙스(대표 김상호)가 갈륨비소 화합물 반도체용 에피웨이퍼 시제품 생산에 착수했다고 4일 밝혔다.

이 회사가 생산하는 에피웨이퍼는 MESFET 및 HEMT 등 전자소자용 에피웨이퍼로, 이달말쯤 기술 제휴사인 일본의 ASEC사에 샘플을 보내 성능확인 테스트를 실시할 예정이다.

전자소자용 에피웨이퍼는 그동안 전량 수입에 의존해왔으며 단일칩고주파집적회로(MMIC)를 생산하는 데 필수적인 재료다. 이 회사 관계자는 『먼저 MESFET용 에피웨이퍼를 생산할 계획이었으나 위성통신 등에 사용되는 HEMT용 에피웨이퍼의 수요가 큰폭으로 증가하고 있어 함께 생산케 됐다』고 설명했다.

아펙스는 내달부터는 본격 양산에 착수, 월 6백장의 4인치 웨이퍼를 생산해 전량 일본에 공급할 계획이다. 또 연말에는 생산규모를 2배로 증설, 월 1천2백장의 전자소자용 에피웨이퍼를 생산할 예정이다. 이 회사는 이번 에피웨이퍼를 생산하면서 습득한 장비기술을 이용, 연말에는 양산용 갈륨비소 유기금속화학증착장비(MOCVD)까지 생산해 수출할 방침이다.

<유형준 기자>