캐논, 64MD램용 스테퍼 4월 출하

일본 반도체제조장비업체인 캐논이 처리능력을 기존 기종보다 30% 높인 64MD램용 i선(수은고압램프) 스테퍼(축차이동식 노광장치)를 4월부터 출하한다고 일본 「일경산업신문」이 보도했다.

새 기종의 모델명은 「FPA-3000i5+(플러스)」로 광원은 파장이 0.365미크론인 i선을 사용한다.

위치 조정 시간을 단축하는 기술을 채용해 22평방mm 노광면적 기준으로 2백mm웨이퍼를 시간당 1백장 가공할 수 있다. 또 위치 조정 정밀도도 기존 기종보다 20% 향상된 40나노미터를 실현했다.

가격은 1대에 4억7천만엔으로, 캐논은 첫해 1백50대 판매를 목표로 하고 있다.

<심규호 기자>