니콘, 97년4월~98년3월 스테퍼 출하목표 450대로 낮춰

일본 반도체 제조장비업체인 니콘이 97회계연도(97년4월∼98년3월) 스테퍼 출하목표를 당초 계획보다 50대 줄인 4백50대로 하향 조정했다고 일본 「日産業新聞」이 보도했다.

이에 따르면 니콘은 97회계연도에 엑시머 스테퍼 2백대, i선(수은고압램프) 스테퍼 3백대를 합쳐 총 5백대의 반도체용 스테퍼를 출하할 계획이었다.

그러나 일본과 한국 반도체업체들이 신규 투자를 축소하면서 엑시머 스테퍼의 납기 연기가 발생함에 따라 엑시머 스테퍼 출하대수를 50대 줄이기로 결정했다.

니콘은 이에 따라 엑시머 스테퍼의 경우 97회계연도에 총 1백50대 출하할 계획이며 형태별로는 일괄노광형 60%, 렌즈스캔형 40%로 잡고 있다. i선 스테퍼는 계획대로 3백대를 출하한다.

한편 니콘은 98회계연도 스테퍼 출하와 관련해 『내년에는 스테퍼 발주가 한층 줄어들 것으로 예상돼 출하대수가 올해보다 10% 이상 감소한 4백대 수준이 될 것』이라고 예상하면서 『그러나 내년에는 엑시머 스테퍼의 생산비율이 상대적으로 높아져 i선과 거의 같아질 것』이라고 밝혔다.

<심규호 기자>