삼성전자, 반도체웨이퍼 운반용 로봇 개발

삼성전자(대표 윤종용)는 반도체 생산라인에서 반도체 웨이퍼와 LCD기판 등을 운반하는 로봇(모델명 LX3801LTA)을 개발했다고 26일 밝혔다.

이 제품은 고청정과 고진공이 요구되는 반도체 제조공정에서 센서를 이용해 카세트에 적재된 다양한 크기의 웨이퍼나 LCD기판의 정렬상태를 자동 확인하고 손상없이 운반할 수 있도록 설계됐다.

두개의 팔로 구성돼 있어 작업시 대기시간을 최소화해 공정시간을 단축할 수 있는 것이 장점이다.

삼성전자는 이 로봇을 HDD용 핵심부품인 자기저항(MR)헤드의 자동운송시스템에 적용해 본 결과 1회 처리속도가 2배 이상 빨라졌다고 설명했다.

<최승철 기자>