KAIST.한국계 美벤처기업 AIO, 반도체 핵심장비 코더 공동개발

국내 대학과 미국 실리콘밸리의 한국계 벤처기업이 공동으로 반도체 웨이퍼가공에 필수적인 반도체제조장비인 코터(Coater)를 개발했다.

한국과학기술원(KAIST, 원장 윤덕용) 전산학과 이광형 교수팀과 미국 실리콘밸리 한국계 벤처기업인 AIO(대표 김인곤)사는 1년간의 연구개발 끝에 반도체 웨이퍼 가공과정에서 웨이퍼에 감광제를 균일하게 코팅하는 작업과 사진작업이 끝난 후 현상할 수 있는 장비인 코터를 공동으로 개발했다고 13일 밝혔다.

이번에 개발된 코터는 8인치 웨이퍼 가공이 가능한 제품으로 각 부품들에 대한 분리조립이 쉽도록 하드웨어(HW)와 소프트웨어(SW)를 따로 설계해 한 부분이 고장나더라도 전체 공정에 미치는 영향을 최소화한 것이 특징이다. 또 사용자가 제품 구성을 쉽게 바꿀 수 있을 뿐 아니라 사용자 SW구조를 이원화하여 대량생산체제에 적합하다.

과기원과 AIO사는 이번에 개발된 코터 1대를 지난해 9월 현대전자연구소에 납품, 3개월동안 테스트를 실시한 결과 유지보수에 탁월한 성능을 지닌 것으로 나타났다고 말했다.

양사는 또 현재 이 제품의 생산성을 높이기 위해 올해부터 2002년 2월까지 인공지능 기법을 이용한 복층구조의 장비를 추가 개발하기로 계약을 체결했다고 밝혔다.

국내 대학과 미국내 한국계 벤처기업의 공동 연구를 통해 반도체 제조장비를 개발한 것은 이번이 처음으로 이번 과제가 성공을 거둠에 따라 앞으로 국내 연구기관과 외국의 한국계 벤처기업과의 국제공동연구 컨소시엄 구성이 늘어날 전망이다.

KAIST는 특히 이번 공동연구를 통해 대학원생들이 미국 실리콘밸리의 첨단기술을 습득할 수 있었으며 참여학생들이 AIO사 취업을 보장받는 등 많은 성과가 있었다고 밝혔다.

한편 AIO사는 한국인 교포 김인곤 씨가 88년 실리콘밸리에 설립한 반도체장비 제조회사로 현재 직원 1백50명에 지난해 매출액이 3천만 달러에 이르는 벤처기업이다.

<대전=김상룡 기자>