사이머코리아, DUV용 레이저 소스 국내 영업 본격화

반도체용 레이저 소스 전문 공급업체인 사이머코리아(대표 신중호)가 DUV(Deep Ultra Violet) 노광 공정용 레이저 공급 장치에 대한 본격적인 국내 영업에 착수한다.

미국 사이머사와 국내 반도체 장비업체인 디아이가 지난해 합작 설립한 이 회사는 최근 경기도 성남시 분당구에 사무실 및 기술지원 센터를 설립하고 올해부터 64MD램 이상 고집적 반도체 제조에 들어가는 DUV 스테퍼용 레이저 소스의 본격적인 국내 공급과 제품 AS에 들어간다고 6일 밝혔다.

이에 따라 이 회사는 기존 제품보다 안정성 및 생산성은 높으면서도 장비 운영 비용은 획기적으로 줄인 미국 사이머의 「5000시리즈」을 주력 공급함과 동시에 자체 AS 인력의 양성과 체임버 등 소모성 부품에 대한 단계적인 국내 생산도 적극 추진키로 했다.

이 회사 신중호 사장은 『사이머가 생산하는 KrF 액시머 레이저 소스는 차세대 노광 장비인 DUV 스테퍼용 핵심 모듈로 최근 국내 반도체 업계에서도 이 장비의 채택이 본격화됨에 따라 올해 60대 이상의 레이저 소스를 공급, 4천만달러 정도의 매출을 올릴 수 있을것』으로 전망했다.

한편, 미국 사이머는 전세계 반도체 노광용 레이저 소스 시장의 90% 이상을 점유하고 있는 레이저 장치 전문 생산 업체로 최근 DUV 공정의 도입 확대에 힘입어 지난해 2억 달러 이상의 매출을 올리는 등 연평균 3백% 이상의 고속 성장을 거듭하고 있는 미국 유명 벤처기업이다.

<주상돈 기자>