[인터뷰] 제임스 팔리 美 스피드팸 사장

화학적기계적연마(CMP) 공정의 D램 양산 라인 채택이 최근 본격화되고 있는 가운데 미국 CMP장비 생산 업체인 스피드팸사의 제임스 팔리 사장이 최근 한국을 방문했다. 세계 CMP 시장을 주도하고 있는 스피드팸의 실질적인 사령탑인 그를 만나 CMP 관련 최신 기술 동향과 한국 시장 전략에 대해 들어봤다.

CMP 공정의 D램 양산 라인 채택 상황은.

△반도체 웨이퍼 및 하드디스크 생산에 사용돼온 CMP공정은 비메모리 반도체 분야에 이어 최근 D램 등 메모리 제조 영역으로까지 그 적용 대상이 빠르게 확산되고 있다. 실제로 지멘스, 모젤, 프로모스 등의 업체는 이미 스피드팸으로부터 CMP장비를 공급받아 이를 메모리 양산 라인에 채택하고 있으며 최근 수주한 한국의 삼성전자 물량 또한 D램 양산용인 것으로 알고 있다.

CMP 공정이 이처럼 빠르게 확산되고 있는 이유는.

△반도체 회로선폭이 갈수록 미세화되면서 웨이퍼 연마 기술인 CMP 공정이 필수불가결한 것으로 받아들여지고 있기 때문이다. 그리고 CMP 장비 기술 또한 최근 급속히 발전해 5개 헤드 동시 구동과 연마 및 세척 장비의 인라인화 등 장비 운영비 절감과 생산성 향상을 동시에 보장하는 각종 기술들이 빠르게 개발된 것도 한 원인이다. 스피드팸이 세계 CMP 시장에서 현재 주목받고 있는 것도 이러한 양산용 CMP 기술 개발에 성공했기 때문이다.

한국 시장 공략 및 투자 계획은.

△삼성전자, 현대전자, LG반도체 등의 한국 소자 생산업체들은 우리에게 매우 소중한 고객들이다. 따라서 스피드팸은 한국 지역에서의 영업 및 서비스 활동을 더욱 강화할 계획이며 현지 조립, 생산도 검토중이다. 우리가 한국스피드팸을 자본금 35억원 규모의 주식회사로 설립한 것도 향후 이러한 현지 생산에 대비한 것이며 실제로 한국 CMP 시장이 어느 정도 성숙기에 접어들면 천안 등지에 조립 공장을 건설할 예정이다.

CMP 시장의 향후 전망은.

△올해 4억5천만달러 규모 정도로 추정되는 세계 CMP시장은 오는 2001년에 1조달러 규모를 훨씬 상회할 것으로 예상된다. 한국 시장 또한 64M및 2백56M D램의 본격적인 양산과 비메모리에 대한 투자가 합쳐져 CMP 관련 장비 수요는 크게 늘어날 것으로 전망된다. 따라서 스피드팸을 비롯한 IPEC, 스트라스바 등의 CMP 전문 업체와 어플라이드, 램, 에바라 등 기존 장비업체들간의 치열한 시장 경쟁이 예고되고 있다.

<주상돈 기자>