어플라이드, 구리칩 제조장비 개발

미 어플라이드 머티리얼스가 구리칩 제조에 사용할 수 있는 신형 반도체 제조장비를 개발했다고 「로이터 통신」이 보도했다.

이 회사가 개발한 신형 반도체 제조장비는 화학적 증기증착(CVD) 시스템으로 최근 IBM 등 반도체 제조업체들이 발표한 구리칩 제조의 핵심 장비로 활용될 전망이다.

구리칩은 기존의 알루미늄 대신 구리를 사용해 회로를 구성하는 것으로 전자 전달 속도가 훨씬 빨라 기존 반도체에 비해 성능이 크게 향상된 첨단 제품으로 평가받고 있다.

이에 따라 어플라이드는 물론 노벨러스 시스템스, 세미툴 등 많은 반도체 제조장비 업체들이 구리칩 제조용 장비 개발에 앞다퉈 나서고 있어 앞으로 구리칩 제조장비의 발표가 잇따를 전망이다.

<오세관 기자>